纵向NPN
纵向NPN
本研究对生产实际的指导意义在于,有效的提供了一种半导体集成电路制造工艺,能够同时提供纵向NPN晶体管,纵向PN P晶体管以及横向PN P晶体管。
Combining the two processes, a compatible technology of SOI full dielectric isolation and complementary bipolar process is experimented. Vertical pup and npn transisto…从实验的角度提出了一种SOI材料全介质隔离与高频互补双极工艺兼容的工艺途径。